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各种气密性检测方法的特点、灵敏度对比

发布日期：2010-12-12

充压检漏方法对比列表
检漏方法	工作条件	现象	设备	最小可检漏率(Pam3／s)	备注
水压法		漏水	人眼	10-3～10-4
压降法	充3×10E+5Pa空气	压力下降	压力计	1×10-3
直压检漏仪	同上	检漏仪读数变化	直压检漏仪	10-5～10-6
差压检漏仪	同上	检漏仪读数变化	差压检漏仪	10-6～10-7
听音法	同上	咝咝声	人耳	5×lO-3	可用听诊嚣
超声法	同上	超声波	超声波检测器	1×10-3
气泡法	同上	水中气泡	人眼	10-5～10-6
	同上	水中气泡	人眼	10-9	24h积累
	同上	涂沫肥皂液发生皂泡	人眼	1×10-5
氮气检漏法	充3×105Pa氨气	溴代麝香草酚兰试带变色	人眼	10-7	观测20s
	同上	溴酚兰试纸变色	人眼	10-11	24h积累
	充2.5×105Pa氨气	复合涂料显色	人眼	10-8	1.5h积累
卤素检漏仪吸嘴法	充卤素气体	检漏仪读数变化伴有音响	卤素检漏仪	10-6～10-10	可与空气混合充入
放射性同位素气体法	充放射性气体	计数器信号变化	闪烁计数器	1×10-7
氦质谱检漏仪吸嘴法	充氦气	检漏仪读数变化伴有音响	氦质谱检涌仪	10-8～10-10
气敏半导体检漏仪法	充气敏气体	检漏仪读数变化	气敏半导体检漏仪
真空检测泄漏的方法
检漏方法		工作压力[Pa]	现象	设备	最小可检漏率[Pam3／s]
静态升压法			抽真空后封闭，压力上升	真空计	10-5～10-6
放电管法			放电颜色改变	放电管	10-3～10-4
高频火花检漏器法		103～10-1	亮点，放电颜色改变	高频火花检漏器	10-3～10-4
真空计法	热传导真空计法	103～10-1	施用示漏物质真空计读数变化	热偶或电阻真空计	10-6
	电离真空计法	10-2～10-6		电离真空计	10-9
	差动热传导真空计法	103～10-1		热传导真空计差动组合	10-7
	差动电离真空计法	10-2～10-6		电离真空计差动组合	10-10
	有吸附阱的热传导真空计法	103～10-3		液氮冷却活性炭阱，热传导计	10-7
	有吸附阱的电离真空计法	10-2～10-6		液氮冷却硅胶阱，冷阴极电离计	10-11～10-13
氢钯法		7×101～10-5	氢气通过钯管进入真空规，读数变化	钯管，电离计	10-7～10-11
离子泵检漏法		10-5～10-7	示漏物质使离子流变化	离子泵	10-9～10-12
卤素检漏仪内探头法		10～10-1	输出仪表读数变化	卤素检漏仪	10-7～10-9
氯质谱检漏仪法		10-2	输出仪表读数及声响频率变化	氦质谱检漏仪	10-12～10-14
其它检漏法
检漏方法	工作条件	现象	设备	灵敏度[Pam3／s]	备注
荧光法	荧光材料，有机溶剂	荧光材料发光	紫外线光源	10-9～10-11	?
放射性同位素背压法	放射性气体，背压抽真空	计数器输出	信号背压室，闪烁计数器	10-12	背压数小时
电子管慢性漏气的加速测定法	背压室充氩气，电子管可为电离规	仪表读数变化	背压室，测量电路	10-9～10-11	背压数小时
氦质谱检漏仪背压法	背压室充氦气．抽真空	仪表读数及声响频率变化	背压室，氦质谱检漏仪	?	?
一些方法的灵敏度和检测漏率公式及注意事项

V-试件容积；dp -压力增量；dt -时间；n -气泡形成速率 [ 个／min]；d -气泡直径；η、ηa -示漏气体和空气的粘滞系数；M，Ma-示漏气体和空气的摩尔质量；p、pa-示漏气体和大气压力；G -常数；S、Sa-系统对示漏气体和空气的抽速；qL、qL，a-漏孔对示漏气体和空气的漏率；C v -气体的热容；T -环境温度；T1-T2 -规管温差；K、K a -规管对示漏气体和空气的灵敏度常数；Ie -发射电流；△N -热传导真空计的读数变化；△I -电离真空计的读数变化；△pa -真空计最小可读空气压力的变化量；qL,min -灵敏度；pAr -背压 Ar 气压力；Ma -氢气摩尔质量；KAr -电子管对氢气的电离规灵敏度常数；I10、I20 -时间t间隔所对应的离子流；t -背压时间；

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