JK- 300.30.8
(SK-300.30.8)
扩 散 泵 机 组
使
用
说
明
书
盐城博硕真空设备有限公司
Yancheng Boshuo Vacuum Equipment Co,Ltd
目 录
一、概述
二、主要技术指标
三、系统说明
四、操作规程
五、机组的维护与保养
六、附录清单
一、 概述
本机组是专业为需要获得高真空的场合而设计制作。
二、 主要技术指标
1、 外形尺寸mm（长×宽×高）：2700×770×1650
2、 2X-30A旋片泵抽速：30L/S
2XZ-8C旋片泵抽速：8L/S
a)开气镇：优于6×10-1pa
b)关气镇：优于6×10-2pa
3、旋片泵功率：4.1KW
a)2X-30A旋片真空泵：3KW(三相380V 50HZ )
b)2XZ-8C旋片真空泵：1.1KW(三相380V 50HZ)
4、扩散泵加热功率：3KW(单相220V 50HZ)
5、系统极限真空：优于9×10-4pa(≤5×10-4pa)
6、系统抽气速率：4400L/S
7、使用电源：主电源为三相380V 50HZ
三、系统说明
本系统由一台TK-300扩散泵，一台2X-30A旋片泵，一台2XZ-8C直联旋片泵，一件DDC-JQ65电磁真空充气阀，一件DYC-J40电磁真空压差阀，二件GL-80手动高真空蝶阀，一台ZDF-5210B复合真空计，一台电控柜，一件GU-10(KF)手动高真空球阀，一件YXC-100电接点正压真空表，一件G1/2手动球阀及一些管道、机架和波纹管、法兰组成。本系统具有真空度高、抽速大、抽气时间短、噪音低、振动小等等特点。
四、 操作规程
1、 开机前，请仔细阅读各泵的使用说明书，并按说明书检查各泵，确保无误后，方可接通水源、电源。
2、 间歇操作或隔一段时间（2小时~3小时）不使用后重新使用：
首先要确保关闭V1、V2、V3阀，V6、V7阀电源连接可靠，接通F1旋片泵系统同时打开V7阀，打开V4、V5阀进行系统抽真空，当系统压力小于25帕时，关闭V4阀，接通扩散泵冷却水源，打开V3、V5阀，接通扩散泵加热丝电源，预热时间为50分钟~60分钟，随着扩散泵的预热时间延长，系统真空度会不断提高，当系统压力小于1帕时，进行系统高真空除气，该系统压力满足生产工艺需要时，打开F2旋片泵维持系统抽真空，关闭F1旋片泵，直到满足系统工艺要求。
3、 连续性使用：当上一次使用完后，紧接着进行下一次使用（﹤ 2小时），F1旋片泵与F2维持泵同开，此时扩散泵无需停，关闭V3、V4阀（此时V5阀为打开），当系统填料工艺操作结束后，关闭V5阀，打开V4阀（此时F1、F2泵为开），当系统压力小于25帕时，关闭V4阀，打开V5阀，当系统压力小于1帕时，进行系统高真空除气，当系统压力满足生产工艺需要时，关闭F1旋片泵，留F2旋片泵维持系统抽真空，直到满足系统工艺要求。
4、 系统停止工作：关闭V3、V4阀，打开F2泵对扩散泵进行抽真空，切断扩散泵加热电源，待扩散泵完全冷却后（3小时~4小时），关闭F2泵，切断电控机组使用电源，关闭冷却水源。
五、 机组的维护与保养
1、2XZ-8C旋片泵、2X-30A旋片泵、TK-300扩散泵的维护与保养，请参看各旋片泵与扩散泵的使用说明书及注意事项。
2、定期检查各阀门及泵的工作情况。
3、扩散泵的加热炉盘必须紧贴泵底。
六、附录清单
1、2XZ-8C直联旋片真空泵使用说明书 一份
2、2X-30A旋片真空泵所有说明书 一份
3、TK-300扩散泵使用说明书 一份
4、机组电控线路图 一份
5、产品合格证。 一份
注意事项：
1、 扩散泵在加热使用当中一定要保证冷却水源的充分供给。
2、 随着真空压力的变化，各阀之间的打开顺序不能搞错，以免扩散泵污染。（电控设置有真空压力报警装置，预设真空指标值，当系统真空压力达到设定值，电控面板显示灯会报警，提示系统此时应该打开某个阀、关闭某个阀等等作用）
3、 系统配置的真空表为电接点式正压表，请注意合理使用。
4、 当系统放气结束后一定要确保关闭V1、V2阀。
5、 请选用合格的扩散泵油，严禁使用不合格扩散泵油或多种混合油品。