自动化朗缪尔探针系统 （Automated Langmuir Probe (ALP)System）
Impedans Ltd. 生产的自动化朗缪尔探针系统 -(ALP) System 提供了一种测试等离子体关键参数的强大诊断工具。
我们拥有着代表世界先进水平的的朗缪尔探针和自动电子控制单元，可以对等离子体进行的高分辨率诊断。运用智能预扫描模式可轻松选定等离子体诊断时的参数，并能进行重复测试。
ALP System朗缪尔探针 ,控制单元 & 线性驱动器
特点
Impedans 自动化朗缪尔体探针系统（以下简称 ALP 系统）可以对主要的等离子体参数进行实时在线监测：
? 等离子体密度
? 电子温度
? 离子电流密度
? 等离子体电位
? 悬浮电位
? 电子能量分布函数（ EEDF ）
ALP System软件
探针
ALP 系统可对直流、脉冲直流、微波和射频等离子体进行诊断测试。标准探针轴的长度为 300mm ，也可根据需求延长至 1.4m 。 嵌入式的探头固定装置 能够有效防止在探针采集区域由于溅射导电层引起的增量。
简单适宜的 探头固定 设计使得探头的更换十分容易。标准探针材料为钨，也可由钼、铂、因瓦合金等制成。根据用户要求，我们可定制不同长度、直径、材料和形状的探 针，同时分析软件的升级也十分简便。
探头清洁 作为标准配置，自动清洁功能使得清洁探头更加容易，尤其对于 沉积等离子 体特别有用。 ALP 系统的应用软件可支持自动清洁和手动清洁双重操作 .
时间分辨测量 一种高速的“厢车”模式可以大大提高时间分辨测量的分辨率，时间间隔能至 12.5ns 。此模式可支持的触发频率高达 1MHz ，同时一种内置的可调时间间隔的程序亦可对探针测量进行时间闸控。
空间分布测量使用自动线性驱动系统（最小步阶 0.025mm ）能将朗缪尔探针深入到等离子体腔室的不同位置中，在探针所达位置，可测得附近等离子体的关键参数，绘制出大多数等离子体性质的清晰图片。
直流补偿 一种新颖的 预扫描模式可 以排除对直流补偿电极的需求，在 探针消耗不同电流 时，能检测到 IV 特征曲线中电压的漂移。亦可确定等离子体的 对地电阻 ，同时加以适当的修正。
射频补偿 探针轴由金属制成，覆以精良的陶瓷层，使得探头 对等离子体的耦合 化，可排除对补偿电极的需求。
厢车 80MSPS 的采样速率能够在当前单周期的特定电压下获取时间分辨的全部数据，极大的降低了死时间，在时间分辨测量中主要改进了 信噪比 。
ALP System厢车模式获取数据
ALP System标准射频朗缪尔探针
ALP System 步进电机控制的自动线性驱动
利用探针进行等离子体诊断过程
系统配置
等离子体参数
诊断范围
ALP 系统
控制单元 参数
悬浮电位
(Vf)
-145V to 145V
电压扫描范围
-150V to +150V
等离子体电位
(Vp)
-100V to 145V
电流扫描范围
15nA to 150mA
等离子体密度
(Ne)
10 8 to 3x 10 12 cm -3
通讯方式
USB 2.0
离子电流密度
(Ni)
1uA/cm 2 - 30mA/cm 2
采样速率
80 MSPS (V,I)
电子温度
(kTe)
0.1 to 15eV
获取数据分辨率
4.5mV
100pA
电子能量分布函数 (EEDF)
0-100eV
时间分辨间隔
( 厢车模式 )
最小 12.5nS
朗缪尔探针
外部触发
TTL 兼容 ,
10Hz -1MHz
直流 , 脉冲直流 ,
微波等离子体
标准探针
应用软件
射频等离子体
宽频探针
2MHz – 100MHz
操作系统
Windows 2000, XP, Vista, Windows 7
长度
300mm to 1.4m ,
可定制其他长度
自动线性驱动系统
直径
2mm to 6.5mm
行程
300mm , 600mm , 900mm , 1.4m , 可定制
可定制
45° 弯曲 , 90° 弯曲 , 其他弯曲角度
速率
25mm /sec.
操作温度
标准 230°C,
按要求可达 1200 o C
步阶
最小 0.025mm
烘烤温度
230 °C
真空度
泄露速率小于
1 x 10 -10 mbar.l.sec -1
更多信息,敬请关注：
Impedans Ltd.
Adress: Unit 8 Woodford Court,
Woodford Business Park,
Santry,Dubin 17,Ireland
Tel: +353 1443 4882 Fax: +353 1891 6519
Website:www.impedans.com
中国代表处：
上海广道电子有限公司 (Shanghai Guangdao Electronic Co.,Ltd.)
Adress: 上海市龙吴路1500号A楼308室
Tel: Fax:
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