产品信息

Impedans Ltd.生产的自动化朗缪尔探针系统-(ALP) System?提供了一种测试等离子体关键参数的强大诊断工具。

我们拥有着代表世界先进水平的的朗缪尔探针和自动电子控制单元，可以对等离子体进行的高分辨率诊断。运用智能预扫描模式可轻松选定等离子体诊断时的参数，并能进行重复测试。

特点

Impedans 自动化朗缪尔体探针系统（以下简称ALP系统）可以对主要的等离子体参数进行实时在线监测：

·         等离子体密度

·         电子温度

·         离子电流密度

·         等离子体电位

·         悬浮电位

·         电子能量分布函数（EEDF）

探针

ALP系统可对直流、脉冲直流、微波和射频等离子体进行诊断测试。标准探针轴的长度为300mm，也可根据需求延长至1.4m。嵌入式的探头固定装置能够有效防止在探针采集区域由于溅射导电层引起的增量。

简单适宜的探头固定设计使得探头的更换十分容易。标准探针材料为钨，也可由钼、铂、因瓦合金等制成。根据用户要求，我们可定制不同长度、直径、材料和形状的探 针，同时分析软件的升级也十分简便。

ALP System? 朗缪尔探针,                            控制单元 & 线性驱动器

ALP System? 软件

EEDF Plot

探头清洁

作为标准配置，自动清洁功能使得清洁探头更加容易，尤其对于沉积等离子体特别有用。ALP系统的应用软件可支持自动清洁和手动清洁双重操作.

时间分辨测量

一种高速的“厢车”模式可以大大提高时间分辨测量的分辨率，时间间隔能至12.5ns。此模式可支持的触发频率高达1MHz，同时一种内置的可调时间间隔的程序亦可对探针测量进行时间闸控。

空间分布测量

使用自动线性驱动系统（最小步阶0.025mm）能将朗缪尔探针深入到等离子体腔室的不同位置中，在探针所达位置，可测得附近等离子体的关键参数，绘制出大多数等离子体性质的清晰图片。

直流补偿

一种新颖的预扫描模式可以排除对直流补偿电极的需求，在探针消耗不同电流时，能检测到IV特征曲线中电压的漂移。亦可确定等离子体的对地电阻，同时加以适当的修正。

射频补偿

探针轴由金属制成，覆以精良的陶瓷层，使得探头对等离子体的耦合化，可排除对补偿电极的需求。

厢车

80MSPS的采样速率能够在当前单周期的特定电压下获取时间分辨的全部数据，极大的降低了死时间，在时间分辨测量中主要改进了信噪比。

ALP System? 厢车模式获取数据

ALP System? 标准射频朗缪尔探针