单射频在线VI 探测器

产品信息

Impedans Ltd.生产的 Octiv? 是一种单射频在线VI 探测器，用于测量等离子腔室射频源的电压、电流、相位、谐波、真实功率、入射功率和反射功率等。

Octiv?探测器包含一个射频VI传感器和高速的数据采集系统，利用高速数字傅里叶变换可以高度的测量基础射频电压、电流和相位。

Octiv?探测器所含的射频VI传感器位于一个专门设计的紧凑外壳中，易于安装在实验室或工业环境的所有的高功率射频设备上，通过USB连接方式提供电源并存取数据。对于标准射频设备，可提供一款适配器使得探测器与其连接来。

用户能够通过Octiv?软件控制传感器并显示数据，随传感器提供的一种兼容的应用程序接口（API）更加方便用户对软件的操作和应用。如图所示，安装过程中可对传感器的外壳进行改造，对不同的适配器进行匹配。

特色

测量

• 电压, 电流, 相位
• 真实、入射、反射功率,
• 阻抗
• 谐波成分

显示

• 表图显示参数
• 史密斯圆图
• 谐波图
• 时间趋势数据

Octiv? 传感器安装

表图

通过传感器获得的工艺参数可通过表图实时准确的显示出来，因此可以在硬件设定和安装过程中有效监测射频功率的传输。数据也可保存为文件格式加以分析。

史密斯圆图

通过史密斯圆图的显示可监测负载阻抗，并能在工艺循环过程中跟踪阻抗的变化。

                                    表图                                    史密斯圆图

谐波图

这种独特的谐波显示能够实时在线监测传输信号的电压和电流的谐波变化。通过观察传输功率的谐波内容，可以直观地判定哪种谐波成分对工艺变化是敏感的。

时间趋势图

使用时间趋势图可以实时监测每一个射频参数，并能显示获得的时间序列，在工艺运行的监测过程及腔体的变化过程中能获得每一个参数的全部情况。.