型号：NPGS 最细线宽（μm）：根据SEM 最小束斑（μm）：根据SEM 扫描场：可调 加速电压：根据SEM，一般为0-40kV 速度：5MHz（可选6MHz） A. 硬件： 微影控制介面卡：NPGS PCI-516A High Speed Lithography Board，high resolution (0.25%) 控制电脑：Pentium IV 3.0GHz/ 512Mb RAM/ 80G HD/ Windows XP 皮可安培计：KEITHLEY 6485 Picoammeter B. 软件： 微影控制软件 NPGS V9.0 for Windows2000 或 XP 图案设计软件 DesignCAD LT 2000 for Windows
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