气体说明

规格

杂质含量（Ppm）

标准号

氦

99.999％

Ne≤4，H₂≤1，O₂≤1
N₂≤2，CO≤0.5，CO₂≤0.5
CH₄≤0.5，H₂O≤3

GB/T4844.3-1995

99.995％

Ne≤15，H₂≤3，O₂≤3
N₂≤10，CO≤1，CO₂≤1
CH₄≤1，H₂O≤10

一氧化碳

99.99％

O₂≤5，N₂≤35，H₂≤2
CO₂≤5，H₂O≤5

XN/QB206-86

99.95％

O₂≤10，N₂≤100，H₂≤10
CO₂≤20，H₂O≤10

二氧化碳

99.995％

O₂≤5，N₂≤20，H₂O≤10

XN/QB207-86

99.99％

O₂≤5，N₂≤20，H₂O≤20

甲烷

99.99％

C₂H₆≤25，O₂≤20
N₂≤40，H₂O≤15

XN/QB201-86

99.9％

C₂H₆≤600，O₂≤60
N₂≤240，H₂O≤50