气体说明
规格
杂质含量（Ppm）
标准号
高纯氧
99.999％
N2≤5，Ar≤2，CO2≤0.5总烃≤0.5，H2O≤2
GB/T14599-95
99.998％
N2≤10，Ar≤5，CO2≤1总烃≤1，H2O≤2.5
99.995％
N2≤20，Ar≤10，CO2≤1总烃≤2，H2O≤3
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