高纯氮
highpuritynitrogen
分子式：N2
性质：纯度大于99.999％。
无色无臭无味无毒的惰性气体。相对密度ds(21.1℃，空气=1)0.967。
气体密度1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa)；液体密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。沸点-195.8℃。熔点-209.9℃。
氮气纯化方法主要有吸附法、变压吸附法、膜分离法等。在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气，化学气相淀积时的载气，液体扩散源的携带气，在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中，作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99％以上。在航天技术中，液氢加注系统必须先用高纯氮置换，再用高纯氦置换。气体说明规格杂质含量（Ppm）标准号高纯氮99.9993％H2≤1，O2≤2THC≤2，H2O≤2.6GB898
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气体说明 |
规格 |
杂质含量（Ppm） |
标准号 |
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氮 |
99.9993％ |
H2≤1，O2≤2
THC≤2，H2O≤2.6 |
GB8980-88 |
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99.999％ |
H2≤1，O2≤3
THC≤3，H2O≤5 |
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99.999％的高纯氮为我所生产的标准物质 |