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三菱开发出10W深紫外激光器 用于加工玻璃
发布日期:2009-10-13

    日本三菱电机开发出了输出功率增至10W的深紫外激光器,并在研发成果新闻发布会上进行了展示。这种波长213nm的深紫外激光器有望在空气中用于加工玻璃等光学器件。输出功率达到了普通工业用水平10W,原产品的输出功率为5.6W。可实现高速加工所需的10kHz以上的脉冲激光。采用该激光器的加工设备的投产日期尚未确定,估计“大约5年后将会有这种需求”(该公司解说员)。由于深紫外激光的波长短,适合于形成直径为10~20μm的微孔等微细加工。除用于玻璃加工外,还可用于印刷电路板的微细加工。在加工印刷电路板等的树脂时,采用转换为树脂可吸收的355nm波长的激光。  

    目前,印刷电路板的打孔加工主要采用CO2激光。但由于这种激光的波长长达10μm,可加工的孔径限度为50μm。此次采用的CLBO晶体由大阪大学开发。
 

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