3D划痕仪使用了超新的划痕头和gāo分辨率的3D形貌仪，能够让用户进行标准的划痕测试，并在测试前后自动进行亚纳米级的3D成像。
划痕试验用于评估涂层和固体表面的粘附性和耐刮擦性。测试在受控的力下对样品表面进行划擦，划痕头在递增、恒定或台阶增力的载荷下沿着样品表面移动。通过检测摩擦力、位移和声发射等信号以及利用3D成像技术来检测涂层破损。
3D划痕仪可测试透明、非透明、硬质涂层、生物材料、装饰涂料、光纤材料等，加载力范围涵盖微米级至宏观级别。检测结果主要包括机械性能（附着力、摩擦力、耐磨性、临界负载Lc1 Lc2 Lc3），3D形貌（粗糙度、涂层厚度、划痕体积、划痕深度等）。
常见的选购配件：
主动式防震台
4微米，2微米， 和100纳米多台阶gāo度标准。1.25英寸方形硅片上镀铬
手动4-物镜炮塔及位置感测
自动4-物镜炮塔及位置感测
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