stil作为三维表面测量与测量业界的不断探索者，提供从微观到航空发动机内腔各部件等不同大小样品的非接触式测量分析。历经数多年的努力，在原有独特技术的基础上，不断积累创新，来保证面对各种应用环境时三维测量所需的高灵敏度和稳定性；而这一挑战往往是其他测量技术或测量系统难以克服的。

　　stil能够提供工业上功能强大新型的图形用户界面。智能便捷的操作架构，直观的可视化工作流和广泛的用户定义的自动化能力的结合，使得用户能够快速有效的收集和分析数据。可自动生成用户需要的的结果报告。这些新特性让先进的表面测量报告与广泛的行业标准相兼容。

　　stil测量系统在业界一直以服务着称，在性能稳定性上一贯口碑良好。从研究型实验室到生产型车间和半导体无尘间，数以几千计的系统被广泛使用。作为专门为先进质量控制和研发设计的测量仪器，可用于精密加工制造类应用的测量，在手机、汽车、航空航天、太阳能、半导体和医疗器械领域，ERT总有一款适合您应用和与预算的光学测量系统。

　　STIL先进的表面测量与检测

　　便携式三维轮廓测量仪

　　仪器设备的基本技术参数

　　● 型号:MS100

　　● XY轴行程：100mm x 100mm

　　● Z轴行程：100mm

　　● Z轴量程：4mm(可选配50nm-24mm）

　　● 光斑直径：8um(可根据光笔不同型号选择，小可小于2um)

　　● XY轴分辨率：50nm

　　● XY轴平面度:<2um

　　● XY轴重复定位精度：0.5um

　　● Z轴线性度：0.01%F.S

　　● Z轴分辨率:0.13um(根据不同型号光笔小为14nm)

　　● XY轴大扫描速度：20mm/s

　　● 样品可测大倾角：漫反射表面大87度

　　● 适用范围：任何材质表面，尤其对玻璃、镜面、高光表面均可进行稳定测试

　　功能与应用

　　● 产品表面段差、高度、宽度、平面度测量

　　● 多层透明体厚度测量

　　● 2D轮廓/3D微观形貌扫描分析

　　● 2D/3D粗糙度测量

　　● 可配合产线定制非标自动化检测方案等