工作台坐标测量行程（mm）：X坐标：150 Y坐标：75X、Y坐标测量分辨率：0.001mm仪器准确度：(2+L/50)um，式中L为被测长度，单位：mm圆工作台直径（mm）：Φ190（玻璃） Φ280（金属）圆工作台角度分划范围：0°~360°圆工作台测角分辨率：3′显微镜立柱倾斜范围：±12°倾斜角度分划值：30′测角目镜角度分划范围：0°~360°角度分划值：1′轮廓目镜轮廓目镜分划范围：±7°轮廓目镜角度分度值：10′光学定位器光学定位器最小探测孔径：Φ5mm光学定位器探测深度：15mm测量力：0.1N顶针架夹持直径：Φ70mm夹持长度：190mm 物镜： 物镜放大率 总放大率 工作距离 视场距离 1× 10× 82 mm 20mm 3× 30× 70 mm 6.7mm 5× 50× 49mm 4mm
物镜放大率
总放大率
工作距离
视场距离
1×
10×
82 mm
20mm
3×
30×
70 mm
6.7mm
5×
50×
49mm
4mm
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