MPS-4/6简易探针台
Mini Probe Station
型号 技术参数
MPS-4
MPS-6
台
体
尺寸
4英寸
6英寸
水平旋转
可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置
X-Y移动行程
2英寸*3英寸
X-Y移动精度
10微米
样品固定
真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环
针座平台
左右各一个针座平台，最多可放置6个探针座
背电极测试
样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极
显
微
镜
显微镜类型
单筒显微镜/体视显微镜
放大倍率
16X-200X
移动行程
水平方向绕立柱360度旋转，Z轴50.8mm
光源
外置LED无极调节亮度环形光源
CCD
200万像素/500万像素/1200万像素
探
针
座
X-Y-Z移动行程
12mm*12mm*12mm
移动精度
10微米/2微米/0.7微米/0.5微米
吸附方式
磁力吸附/真空吸附
夹
具
线缆
同轴线/三轴线
漏电精度
10pA/100fA/10fA
固定探针
弹簧固定/管状固定
接头类型
BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子
针尖直径
0.2微米/1微米/2微米/5微米/10微米/20微米
材质
钨钢/铍铜
外形
400mm长*380mm宽*500mm高
重量
约20千克
可选附件
加热台
屏蔽箱
显示器
光学平台
转接头
镀金卡盘
射频测试配件
光电测试配件
根据客户要求定制
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