是一代气体净化处理系统ATLAS使用NF3气体及等离子体处理技术，能够以较低的成本处理包括增强型等离子化学气相淀积、高密度等离子化学气相淀积、钨化学气相淀积在内的各类化学气相淀积工艺排放的气体。设备可以净化处理包括氟、硅烷、四乙基原硅酸盐、六氟化钨、氨气等各类气体。ATLAS的操作工序包括燃烧处理（该项内燃烧技术已被广泛认可）和两步湿法清洗处理，它可以满足废气、粉尘处理的各项需求，并且具备优异的耐腐蚀能力。ATLAS支持多达6路气体输入并具有包括温控系统在内的多种可选配件。
联系电话： 董先生
更多经营内容：www.fengleijidian.com
免责声明：本商铺所展示的信息由企业自行提供，内容的真实性、准确性和合法性由发布企业负责，一比多公司对此不承担任何保证责任。
友情提醒：为保障您的利益，降低您的风险，建议优先选择商机宝付费会员的产品和服务。