MTI硅片测量仪
硅片尺寸76-300 mm 高分辨率 LCD 显示 快速、易于设置的菜单
5点测量, 厚度变化量以及弯曲度测量 网口以及RS232电脑接口 前方的USB接口方便存储数据 可达1700μm的测量范围
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Proforma 300i
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Proforma300Gi
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Proforma 300
OEMi 1
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精度2:
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±0.25 μm
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可重复性3:
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±0.25 μm
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分辨率:
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0.05 μm
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电压输入 (电压):
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100 to 240VAC
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电压输入 (频率):
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50 to 60Hz
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电力输入 (功率):
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50 W
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使用温度范围:
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15 to 40oC
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响应时间:
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60ms
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客户指定
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尺寸(长x宽x高):
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482x330x279 mm
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483x388x89 mm
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数据接口
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RS232, 网口, USB, LCD
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RS232, 网口
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可支持的材料4:
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Si
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Ge
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InP
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GaAs
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重量:
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12.3 kg
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12.4 kg
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5.9 kg
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ProformaTM 300i – 手动晶圆测量工具
Proforma 300i使用MTI专有的快速、准确、可靠的非接触式PUSH-PULL电容探头。Proforma 300i可测量直径是300mm硅片的厚度, 总厚度变化以及弯曲度