技术数据
FF-160H/U复合分子泵
高真空法兰（mm）160CF 160ISO-K
前级管道法兰（mm）40KF
抽气速（L/S）600
压缩比N2 >109 H2 >8×103
极限压强（Pa）帕<8×10-8<5×10-7
电机转速（n/min）27000
振动值≤0.1μm
启动时间（min）<4.5
建议采用的前级泵4—8 L/S
冷却方式水冷（风冷）风冷
泵环境温度≤25℃水冷
泵冷却水温度≤20℃
水冷冷却水流量（L/min）
泵体烘烤温度<120℃
电源输入电压（V）AC220
安装方向
泵重量（kg）≈24
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