超高真空排气台特点极限压力低：≤10-7Pa 工位范围大：1-16 可定量充入工作气体。应用：真空器件的超高真空排气、充气、封接。
超高真空抽气机组适用压力区域：10-5Pa-10-8Pa常用主抽真空泵：分子泵，离子泵，升华泵，锆吸气泵，低温泵。应用：表面光亮，热能反应，高能物理，半导体研究，空间模拟等。
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