雷尼绍激光干涉仪

      雷尼绍激光干涉仪ML10 Gold可提供线性测量精度为± 0 . 7μ m / m 和分辨率为 0 . 001μ m 的超精度测量和校准能力。
      ML10 Gold测量质量、性能稳定并适用于多种环境。雷尼绍采用激光干涉原理，包括线性、角度和直线度的测量。因此ML10 Gold使用干涉原理所提供的测量采用国际上光线的波长为长度标准。
      ML10 Gold使用分离的干涉镜，而不与激光头安装在一起通过提高激光源的稳定性和环境误差补偿。ML10 Gold提高测量精度和稳定性，并克服了与标准条件不同的多变环境（气温、气压、湿度）这些变化可引起的不确定度。
      ML10 Gold的激光稳频精度达到。±0 . 05μ m / m同时使用非常的环境补偿传感器来采集数据，通过EC10环境补偿单元对“原始”测量结果进行修正。