大型真空泵的特点：
　　
　　简单的说：功率大，极限真空高(压力极小)(压力越小，代表极限真空度越高)，有的甚至可以做到10负几次方Pa,非常接近理论真空了。抽气速率大，通常以"L/S(升/秒)"作为单位。工业上有非常广泛的应用。
　　
　　缺点：价格高昂、体积大、重量大、噪音高、能耗高、需要定期维护，不易移动等。有的大型真空泵必须使用真空泵油或润滑油，工作中会产生油雾，对工作介质有污染……以上缺点在某些场合特别明显，如大型真空泵虽然真空度高，但在低真空场合反而浪费，像实验室，只是需要泵对少量气体进行气体采样、气体分析、气体循环、真空吸附、气体转移、增压、间接吸水、排水等时，用大型真空泵反而暴露出它的很多缺点。
　　
　　这个时候用小型真空泵，粗真空(真空度较低)就可以满足，而且体积小巧、噪音低、功耗小、易于操作、便于携带、免维护、可24小时连续运转，还允许介质富含水汽。最重要的是，因为是干式、无油的，不需要真空泵油或润滑油，所以不会污染工作介质，不会干扰对介质的分析等等。而且价格相对便宜得多。
　　
　　现在，随着小型真空泵在各个领域的广泛应用以及真空技术的提高，小型真空泵的性能也不断提升，比如有一款高负压小型真空泵成都为诚电子机械的极限真空度甚至可以达到，即负压约-0.09Mpa;抽气速率可达：28L/Min;还有能同时抽气、打气两用的小型真空泵，负压(-50KPa)，输出正压(相对大气压)100KPa(约1公斤)。