静电的产生在电子工业中是不可避免的,其造成的危害主要可归结以下几种: (一)、静电吸附在积聚有静电荷的物体周围存在着静电场,静电场可以令介质极化,在库仑力的作用下,悬浮在空气中的尘埃被吸附在物体上污染环境,影响产品质量。在半导体器件生产车间,由于尘埃吸附在芯片上,集成电路(IC)特别是超大规模集成电路(VLSI)的成品率会大大下降。 (二)、ESD热效应造成造成的危害危险场所的点火源和引爆源,微电子器件的损伤源。 (三)、高压静电场引起的介质击穿和潜在性击穿。 (四)、ESD的电磁效应是信息化时代电子装备的主要危害源之一。 (五)、ESD对人体电击可以造成“二次”危害事故。
静电的危害有目共睹,现在越来越多的厂家已经开始实施各种程度的防静电措施和改成。但是,要认识到,完善有效的防静电工程要依然不同企业和不同作业对象的实际情况,制定相应的对策。防静电措施应是系统的、全面的,否则,可能会事倍功半,造成破坏性的反作用。
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