在加工硅晶片过程中，特别是高速研磨抛光时，由于研磨盘的磨损和热变形，使晶片的平面度和平行度很难保证。采用碳化硅陶瓷的研磨盘由于印度高而磨损很小，且热膨胀与晶片基本相同。在生产过程中提高了质量和效率。
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