氮化硅
■氮化硅分子式为Ｓi3Ｎ4，是一种重要的结构陶瓷材料。
■它是一种超硬物质，本身具有润滑性，并且耐磨损；
■ 除氢氟酸外，它不与其他无机酸反应，抗腐蚀能力强，高温时抗氧化。
■ 而且它还能抵抗冷冲击，加热到1000℃以上，急剧冷却再急剧加热，也不会碎裂。
■涂喷在坩埚表面，在加热作用下，使液态氮化硅均匀的吸附坩埚表面，形成粉状涂层，
■涂层目的是保护石英坩埚在高温下石英坩埚与硅隔离，使液态硅不与石英坩埚反应，而使石英坩埚破裂，及冷确后最终保证硅碇脱膜完整性。
■技术指标
Items
Value
Spefice Surface Area(m2/g)
9.8-13
Green Density(g/cm3)
1.7-1.9
N(wt%)
>38.0
Fe(wt%)
<0.008
O(wt%)
<1.5
Ca(wt%)
<0.01
C(wt%)
<0.2
Al(wt%)
<0.08
Na(wt%)
<0.001
Ni(wt%)
Mo(wt%)
Mg(wt%)
Cr(wt%)
Co(wt%)
K(wt%)
Mn(wt%)
Partical Size(lazer)D90(μm)
1.1-1.5
Partical Size(lazer)D50(μm)
0.5-0.7
Partical Size(lazer)D10(μm)
0.2-0.4
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