韩国NTW燃烧水洗式尾气处理设备适用于:薄膜太阳能电池、PECVD、半导体、微电子等行业中产生的废气.
处理的气体包括:TMA、SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O 等。
主要有以下优点:
1. 全机整体新思维安全设计, 高安全标准。
2.拥有处理量特大﹑效率高﹑及长时间运转。
3.操作容易上手、保养简单快速、零料件经久耐用,性价比高
4.燃烧反应室可定时自动清洁, 长时间运转效率稳定。
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